紫外线**难以彻底解决目前普遍存在的纯水系统中**的再污染问题。通常，城市自来水中的高有机负荷化合物（包括三卤甲烷）、浊度和**的再污染是造成反渗透膜剥蚀和纯水系统末端0.2μm过滤器堵塞的原因。在高纯水制备中多用加氯或紫外线**，然后用膜过滤除去。用超过滤器也可去除大部分**，但不能完全杀死**和病毒。而臭氧是一种不稳定分子，是已知的第二位强氧化剂，能破坏全部微生物和**，并将其氧化为二氧化碳和水，而不留下任何有害的副产物。

臭氧**的机理是**与臭氧接触，细胞膜破裂，细胞质在水中被粉碎、消解。普通加氯**是由于Ocl^-离子氧化**的细胞质，使**死亡。加氯**需要30-50min，而臭氧**只需要2秒。

在工艺水处理中臭氧含量在2-3mg/L范围，通常用氧气或过滤后的空气作稀释气，与臭氧的比例为5：1，通入水中**，残留的臭氧量约为0.005-0.05mg/L，可用一般的紫外灯照射除去。

应该指出，臭氧对水处理系统听很塑料和密封材料等，均有较强的侵蚀性腐蚀，并使高纯水系统受到污染。试验表明，采用全聚偏二氟乙烯PVDF材料制造的设备和管材，对臭氧有良好的相容性，缺点是造价昂贵。

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