低温等离子体是利用高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。这项工艺是一种全新的净化过程，不需要任何添加剂，不产生废水、废渣，不会导致二次污染。
　　有机废气处理设备的工艺比较
　　活性炭吸附法，顾名思义，利用了活性炭的吸附作用，它是目前在工业废气、废水处理中普遍采用的吸附剂材料，吸附效果取决于吸附剂性质、VOCs种类、浓度和吸附系统的操作温度、湿度等，所以它最适于处理浓度为300×10-6～5000×10-6的有机废气。它结构简单，维护管理方便，能耗少，运转平稳。
　　水喷淋法的原理是酸雾废气由风管引入净化塔，经过填料层，废气与氢氧化钠吸收液进**液两相充分接触吸收中和反应，酸雾废气经过净化后，再经除雾板脱水除雾后由风机排入大气。吸收液在塔底经水泵增压后在塔顶喷淋而下，**回流至塔底循环使用。该工艺除尘脱硫效率高，占地少，安装方便，使用寿命长。