等离子体工业废气处理技术已研制出标准化废气治理设备，利用所产生的电子、自由基等活性粒子**、电离、裂解工业废气中的各组成份，使之发生分解，氧化等一些列复杂的化学反应，再经过多级净化，从而**各种污染源排放的异味、臭味污染物，使有毒有害气体达到低毒化，保护人类生存环境。由于其对污染物分子的分解且处理能耗低等特点，为工业废气的处理开辟了一条新的思路。
　　等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：
　　(1)电场+电子→高能电子
　　(2)高能电子+分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团)活性基团
　　(3)活性基团+分子(原子)→生成物+热
　　(4)活性基团+活性基团→生成物+热
　　作用原理
　　低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。
　　低温等离子体降解污染物是利用这些电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。（注：低温等离子体相对于高温等离子体而言，属于常温运行。）
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