无尘室(Clean Room)，亦称为无尘室或清净室。它是污染控制的基础。控制空气悬浮微粒浓度，从而达到适当的微粒洁净度级别。

一、无尘室等级的分类

依据美国联邦政府颁布的标准【FederalAtandard(FS)209E，1992】，可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可设尘粒的尺寸是0.5um，无尘室等级应以特定尘粒尺寸的级数来表示。例如：10级在0.2um(尘粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75颗/立方英尺)，1级在0.1um(尘粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35颗/立方英尺)。

二、无尘室等级的标准

无尘室等级标准的版本较多，CEIDI西递小编整理两个较常用的划分标准，分别是国际标准IOS14644-1、中国标准GB/T16292-1996，

三、无尘室净化工程的处理工艺

1.乱流式(TurbulentFlow)：

空气由空调箱经风管与无尘车间内的空气过滤器(HEPA)进入无尘室，并由无尘车间两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于无尘室等级为1,000-100,000级的。

优点：构造简单、无尘室扩充比较容易，在某些特殊用途场所可并用无尘工作台，提高无尘车间等级。

缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染产品。另外若系统停止运转再运行，欲达要求的洁净度，需耗时相当长一段时间。

2.层流式(Laminar)：

层流式空气气流运动成均匀的直线形，空气由覆盖率**的过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式适用于无尘室等级需求较高的环境使用，一般其无尘室等级为Class1~100。

其型式可分为二种：

1).无尘车间水平层流式：水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁的回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般下流侧污染较严重。

优点：构造简单，运转后短时间内即可变稳定。

缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。

2).无尘车间垂直层流式：房间天花板用ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可获得较高的洁净度，在生产中或工作人员所产生的尘埃可排出室外并不会影响其它工作区域。

优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易受作业状态或作业人员所影响。

缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板的吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。

3.复合式(MixedType)：

复合式是将乱流式及层流式予以复合并用，可提供局部超洁净空气。

无尘车间洁净隧道(CleanTunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将生产区域或工作区域**覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员的工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，超大规模集成电路生产大都采用此种型式。

洁净隧道另有二项优点：弹性扩充容易、维修设备时可在维修区轻易执行。

无尘车间洁净管道(CleanTube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量的送风即可得到良好的洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线*适宜使用。食品及半导体均适用。

无尘车间并装局部无尘室(CleanSpot)：将乱流无尘室内的产品生产区的洁净度等级提高为10~1000级以上，为生产用。