砂带抛光机砂带机系列
内外缘形成不同的相对抛光速度会引起抛光盘的伞状变形，图1为加工过程中行星轮转向与表面变形的关系 。如果行星轮转向与抛光盘相同(顺向模式)，晶片上表面与上抛光盘外缘相对较低，而与下抛光盘的相对速度较 大，因此上抛光垫表面材料去除较少，下抛光垫表而材料去除较多，形成中心凸起的“顺向模式”的表面磨损变 形，相反则形成“逆向模式”的表面磨损变形。
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