3HAC020304-001 -行业资讯

吉致电子---氧化硅抛光液的特点和作用
氧化硅抛光液的主要成分是高纯二氧化硅粉，经特殊工艺生产的一种高纯度低金属离子型抛光液。氧化硅溶液其实就是市面上的硅溶胶，当然是二次加工后的硅溶胶。因为硅溶胶是胶状的，不能直接研磨抛光。这项技术的主要应用是CMP半导体抛光。该技术在相对早期阶段就已存在，但市场应用范围较窄。氧化硅外观为乳白色悬浮液，呈碱性、中性、酸性。一般时间长了不会有沉淀，但是暴露在空气中很快就会结晶，有一定的腐蚀性。不锈钢工件在二...

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