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4022.481.65931 ASML配件渠道商介绍,近日,据日经亚洲评论报道称,荷兰EUV(极紫外线)光刻机供应商ASML将推迟对晶圆代工厂商中芯国际的交付出货。
不过,随后ASML和中芯国际对此均表示否定。
ASML回应称,“ASML延迟中芯国际EUV设备出货”这一说法有误,公司对于全球客户一视同仁。ASML表示,根据瓦纳森协议,ASML出口EUV设备到中国需要获得荷兰政府的出口许可,而这一许可已于今年到期,ASML已在到期前重新申请了出口许可,目前正在等待荷兰政府审核批准。
至于何时能拿到许可证,ASML相关负责人表示,目前处于正常的流程状态中,尚未掌握确切的时间。
据悉,中芯国际于去年5月向ASML订购了一台价值1.2亿美元的EUV光刻机。
资讯来源:汕头罗克自动化
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