***************25-3600-0300-03晶圆传输机器人校准器*******************

诚信经营，质量为首，诚信至上，罗克自动化竭诚为您服务

***************汕头市罗克自动化科技有限公司***************
联系人：李生（销售经理）
手机 ：15322569805
-----------------------------------------------------------------------------
汕头罗克自动化科技有限公司多年来提供全球各品牌工业自动化产品，数控伺服系统等销售维修服务，技术好，服务佳，价格实在。
~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~~
25-3600-0300-03晶圆传输机器人校准器渠道商介绍，一个晶圆在经过一系列复杂的工序后*终变成多个IC单元，期间晶圆需要依赖晶圆传送机器人在处理站之间执行快速、精确的传送作业。晶圆价值昂贵且易碎，这意味着机器人工作的稳定性和可靠性是关键的考虑因素。韩国机器人制造商Robot and Design (RND) 采用了RLS LM10系列增量式磁编码器系统来优化其晶圆传送机器人的性能。

　　硅是一种常用的半导体材料，在经过一系列上游工序(例如切割、光刻、蚀刻、曝光、沉积等)后，它变成了表面刻有“印刷电路”的圆形晶圆。之后晶圆再经过一系列下游工序(包括粘接、布线、封装、测试等)，*终变成多个功能强大的微型IC单元。

　　事实上，现代技术已经可以生产出纳米级厚度的晶圆。然而，如此薄的晶圆很容易在传送过程中损坏;此外还必须确保在整个工序中晶圆表面不得有脏污。如今，大多数制造商都在使用机器人代替人工来传送晶圆，这已成为半导体制造的操作重点之一。

RND的晶圆传送机器人的操作速度达到1.8 m/s。它高度依赖于快速响应、极端可靠和稳定的位置反馈系统。任何微小的位置误差都可能导致晶圆破损，造成非常高昂的经济损失。

Jung先生解释道：“一般来说，相较于其他半导体制造设备，晶圆传送机器人上的编码器的精度要求相对较低。精度固然重要，但稳定性是我们的重中之重。想象一下，机器人每天不停地高速往复移动，因此确保其工作的稳定性，成为我们开发过程中面临的挑战之一。编码器作为机器人的核心部件，我们在对其进行市场调研时，重复精度始终是一项首要考虑因素。LM10系列磁编码器的重复精度可达到单位分辨率。它的性能多年来非常稳定，因此，我们毫无疑问会继续使用它。”

LM10系列是设计用于恶劣环境下高速应用的磁编码器。它的分辨率达到0.244 μm，分辨率为1 μm时**速度达到7 m/s，密封等级为IP68。LM10读数头沿袭RLS编码器系列的人体工程学设计，配有LED安装指示灯且安装公差宽松;无需其他复杂的安装设备，便可实现真正简单且**的安装。此外，LM10采用了背面自带不干胶的磁栅尺，其上配有双向参考零位。栅尺**长度达100 m，间隙为1 mm。

资讯来源：汕头罗克自动化