型号:VGT-907FTA
产品特点:
1.人机界面,PLC控制;
2.采用单臂机械手,可灵活调节清洗工艺;
3.各清洗槽设置抛动机构,保证清洗效果;
4.采用超声波清洗、鼓所冲洗等工艺;
5.采用28KHZ、40KHZ多频段超声波;
6.全封闭机构,外形美观。
7.设备内部安装有维修照明灯,方便维修。
8.上下料有专用手推车,方便员工操作。
应用范围:
1、炉前清洗:扩散前清洗。
2、光刻后清洗:除去光刻胶。
3、氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。
4、抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。
5、外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。
6、合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣。
7、离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层。
8、扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。
9、外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。
10、CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。
技术参数:
超声波功率:3.5KW
超声波频率:28,40,60KHZ
换能器数量:7个
电源电压:220V/380V
技术优势:
适用于2”-8”基片的半导体清洗工艺中,**去除硅/晶片表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物,且不破坏晶片表面特性。根据不同清洗工艺配置相应的清洗单元,各部分有独立控制,随意组合
资讯来源:http://www.weigute.com/index.html
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