流体的化学腐蚀问题有时会成为我们选择测量方法和使用高准流量计的决定因素。比如，某些流体会使流量计接触零件腐蚀，表面结垢或积淀析出晶体，金属零件表面产生电解化学作用，这些现象的产生会降低流量计的性能和使用寿命。因此，为了解决化学腐蚀和结垢问题，制造厂采取了许多方法，如选用抗腐蚀材料或在流量计的结构上采取防腐蚀措施，比如，节流装置孔板用陶瓷材料制造，金属浮子流量计内衬耐腐蚀的工程塑料。
对于结构较复杂的高准流量计，如容积式流量计和涡轮流量计等就无法对具有腐蚀性流体进行测量了。有一些流量计是从原理结构上就具有耐腐蚀性或易于作耐腐蚀的措施。超声流量计的换能器探头安装在管道外壁不与被测流体接触，本质上就是防腐蚀的。电磁流量计只有测量管衬里和一对形状简单的电极与液体接触，近年有些设计将电极也不与液体接触，也是一种防腐蚀的措施。
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