废气等离子光氧一体机，在电催化总的设计概念下，分三个即独立又混成的激发系统：微波激发区、等离子激发区、极板激发区。每个激发区有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。低温等离子体激发本工艺有40支至240支充有气体的无极管组成的低温等离子体激发区，低温等离子体区是工艺的核心技术，诸多机构室称在常压下实现低温等离子体。从大量的试验分析，常压低温等离子体要在工业中应用存在的困难仍旧很大，本工艺借助低气压的无极灯作为低温等离子体的激发体，较大限度地在无极管区实现低温等离子体区，由于低温等离子体在能量跃迁过程中具有的能量平衡性，在粒子撞击中失能极少，所以低温等离子体作为原子激发是理想的一种能。
　　废气等离子光氧一体机是根据不同废气配有不同药剂，采用湿法处理的方法来净化多种有毒、废气的一种装置。它是吸取了泡沫塔、喷淋塔、填料塔等净化技术的精华而设计的，兼有除尘效果。
　　本装置已成功地应用在：陶瓷厂喷雾干燥塔的尾气净化、玻璃窑后的尾气净化、各种蒸发量的燃煤、燃油锅炉的尾气净化、线路板厂喷油车间的废气净化、炼油厂污水循环水池的废气净化及石油生产废气燃烧产生的尾气净化。该装置已完成系列化产品的机械设计和针对不同废气种类、浓度的化学部分的配方，对含粉尘浓度较大的尾气配有预处理装置。该装置系统阻力，较之同类型产品要节省20%以上的动力消耗，对配有引风机向地下烟道排放的废气，本装置有卧式安装的形式，则无须另配动力装置。