对洁净空调系统来说，减少排风，尽量利用回风，比普通空调系统具有更大 的技术经济意义。需排风的工艺设备宜布置在洁净室下风侧。
应根据不同的排风对象选择排风系统，具体如下：
(1)
无机排风湿式处理以使用无机药品的化学通风的排风为主，平时仅排 出空气，混有药品气体的特殊作业环境排风时用这种系统。强腐蚀性、强酸性气
体混合时要用聚氯乙烯板材制作风道，末端用湿式处理（洗涤器）将有害气体溶 于溶液再排到空气中，风道中途水平管上要设排水口。
(2)有机排风干式处理用于乙醇、三氯乙烯等溶剂或光刻胶处理等，管材 用聚氯乙烯会被溶解，故用不锈钢。末端为干式处理，通过活性炭过滤器，吸附 有机溶剂。
(3)特殊排风湿式处理用于氢、甲烷等爆炸性气体的排风，末端是湿式排 风，溶于水再排出。管材用聚氯乙烯或不锈钢。甲烷和空气接触有燃烧危险，所 以即使用聚氯乙烯管，其末端还必须用金属管；制膜（也包括外延）工序用氯气 很多，不锈钢管长期使用也会腐蚀。
(4)泵的排风湿处理工艺装置内的排风和泵的排风，由于会积油，不要和 可产生火星的排风连在一起。
(5)热排风湿处理氧化装置、烧结炉的散热排风属该类型，可热回收。
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