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DYONICS 氙气光源 REF 7205353供应维修收购服务中心介绍关于DYONICS 氙气光源 的工业应用相关内容：(2) 进步输出功率。现在LPP EUV XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙气光源到达的输出功率为7 W@2π，其间激光器输出200 mJ，脉宽9 ns，重复频率5 kHz，作业气体为Xe，**能量变换功率到达0.7 %。Powerlase 公司方案在2005年选用三套并联技能，将激光输出进步到3.6 kW，在IF 点得到10～20 W 的EUV 输出[10]。进步LPPXENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙气光源输出功率的首要问题是进步激光器的输出功率和能量变换功率。DPP EUV XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙气光源现在到达的输出功率为25.7 W(Xe，搜集角1.8 sr，IF 点，变换功率1%)和51.4 W(Sn，搜集角1.8 sr，IF 点，变换功率2%)，技能上可以到达224 W，满意对EUVXENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙气光源输出功率的要求。进步DPP XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙气光源输出功率面对的首要问题是进步变换功率，优化发射谱，进步电极的热载荷。
Cymer作为光刻XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙气光源范畴的抢先供货商，现在专心于供给DUV 及EUV XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙气光源。半
2007年Sematech 在Baltimore，Md. 主办的EUV XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙气光源研讨会(EUV Source Workshop)上，12 家供货商和研制小组介绍了三类大功率激光体系的预备情况和研制方案，它们被规划用来与锡进行磕碰以发生EUV 光。依据XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙气光源供货商的说法，以锡为燃料的LPP XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙气光源，现在可以在短时间内发生高达130 W 的功率，然后可以用**集光器在中心焦点(intermediatefocus，IF)上得到40 W 以上的功率。研讨会主席、Sematech **技能专家Vivek Bakshi 指出：假如这些XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙气光源的商业版别可以被及时地集成到一个牢靠的XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙气光源搜集模块(SoCoMo)上，就能供给满意的功率来满意预定于2009 年交货的beta EUV 光刻机40～60 W 的**功率要求。尽管所有这3 种激光体系还不能到达商用EUV 光刻机所需的10～20 kW 的功率，可是可以经过“倍增”低功率体系来获得必要的瓦特值。“这种方法的激光器衔接模块的可行性已被证明了一段时间了，”Bakshi 说，“随着单个激光器模块的功率和牢靠性的提升，在LPP XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙气光源中只需较少的模块就可以到达满意的功率。”
激光等离子体EUV XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙气光源(LPP)
(5) 与EUVL XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙气光源相关的基础研讨。与EUVLXENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙气光源相关的基础研讨有：粒子和等离子体对XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙气光源部件的腐蚀和堆积机制、XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙气光源发生的粒子品种和能量散布、热量的发生和输运机制、辐射的发生和输运机制等。
(3) 延长XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙气光源的寿数。依据ASML，Canon，Nikon 联合提出的对XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙气光源的需求，要求XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙气光源寿数大于30 000 h，按7～10 kHz 的重复频率计算，寿数约为700 G～1 000 G 个脉冲。XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙气光源的寿数首要取决于电极、喷嘴、光学体系等。对LPP XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙气光源，喷嘴的寿数现在可以优于1.5 G个脉冲，反射镜的寿数可达5 G个脉冲。对GDPP(气体放电发生的等离子体)XENON LIGHT SOURCE DYONICS 氙气光源，在带有碎片过滤器的条件下，光学。
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资讯来源：罗克自动化