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CT27A13TDC910真空计渠道商介绍电容薄膜规：

电容薄膜规工作原理

· 压力使膜片变形，变形量与压力大小成比例关系· 通过测量不同压力下的陶瓷膜片的变形量测量真空度2

电容薄膜规特点

· 以可靠的超纯陶瓷传感器室为基础构成

· 在严酷和腐蚀性环境中，稳定与可靠的高精度压强测量· 快速的预热和恢复时间，提高生产率

· **的长期稳定性，再现性和重复性

· 由于电子学直接安装在传感器上，改进了温度补偿和EMC兼容性· 对环境条件变化的敏感度的降低使得测量更稳定· 快速预热在开机的一分钟内达到快速稳定和进入准备使用状态· 一键按钮： 调零功能和设点调整

· 抗腐蚀超纯陶瓷传感器

· 能经受数百万次压强循环周期，包括大气压冲击，无任何降低性能的迹象· 暴露大气压后快速恢复，无需隔离阀

· 对蒸气介质不敏感

· 先进的传感器屏蔽 （专利）延长真空计在污染的工艺过程中的使用寿命3

INFICON陶瓷技术

· 陶瓷技术的优越性

1）无 “记忆” 效应

2）陶瓷无疲劳问题

3）**的温度补偿

4）**的零点稳定性

· 低使用成本

1）非凡的使用寿命

2）无需隔离阀

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加热型优点

· 零飘极小0.1%FS/年（干净真空环境）

· 更高的精度

· 环境温度变换/环境压力变化/环境气流变化对精度无影响· 比工艺更快的预热启动时间’

· 快速恢复时间 大气压 < 1 min within 5mV· 任意安装角度

· 抗污染，可**抵抗工艺气体或工艺产生气体的腐蚀影响7

电容薄膜规的应用

要求高的应用条件下，精确而快速的压强测量

· 用于刻蚀，CVD、PVD、ALD半导体设备制造，如太阳能光伏行业的PECVD用的很多，刻蚀上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比较多，抗污染性能比较好。一般国内用的PECVD还有多晶炉上用的MKS的电容薄膜规622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比较多，如德国Ruth&Rau公司的PECVD设备标配产品为MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,质量流量计用的是1179BX23CR14VSPC1 800sccm/SiH4和1179BX5CR14NSPC1 2000sccm/NH3，国内用的好多PECVD设备上用的是INFICON的CDG025D。



资讯来源：汕头罗克自动化