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631A11TBFP 10TORR渠道商介绍，在真空镀膜设备真空装置自动控制中，常常要中止真空丈量，由于真空装置种类繁多、工作压力范围也不尽相同，因此，从105Pa—10-5Pa各真空区域的真空丈量坞会遇到。通常运用的真空计有电阻真空计、热偶真空计、电容薄膜真空计、电离真空计、超高真空计等。为了拓展真空计的功用，真空仪器厂家还消费包括遥控遥测、模拟量输出、RS - 232C等通讯接口、压力调理等功用模块板供用户选配。

因此，一个配置齐全的真空计，不只能中止真空度丈量、数字显现、量程自动切换、误差自动修正，而且能在压力设定点发出控制信号去中止压力控制，按设定压力值中止压力自动调理，还能将丈量值打印记载，并与上位机中止通讯联络，以致还能中止远距离真空丈量与控制。

1、压力控制仪

在工业消费和科学实验中，常常希望真空装置的真空室中的真空度能按真空工艺的恳求，维持在某一给定值上。这种恳求通常可以经过手动调理真空微调阀来完成，倘若希望自动地完成压力调理，就要借助于压力控制仪来完成。

压力控制仪通常由真空丈量单元（真空计）、压力自动调理电路和真空调理阀组成，它是集真空丈量与压力调理于一体的自动控制仪器。国产压力控制仪主要有HY、ZDC、SYK、DL、ZZK等系列产品。

表征压力控制仪的主要技术指标是压力控制范围、控制精度、流量控制范围、反响时间等。它取决于其配用的真空规管、控制电路及真空调理阀的性能。压力控制仪普遍应用于离子注入、离子束刻蚀、真空镀膜、激光技术及半导体材料等范畴，其运用的环境条件与同类型的真空计大致相同。

（1）结构与工作原理

压力控制仪通常是由压力给定单元、真空丈量单元（真空计）、压力调理单元、驱动电路及真空调理阀等基本单元组成。它具有手动和自动压力调理功用。关于采用分立元件的压力控制仪，其给定单元通常是一个电位器，而压力调理单元通常是具有比例积分（ PI）或比例积分微分（PID）运算功用的运算电路；关于微机化的压力控制仪，其给定单元通常是经过键盘或码盘中止压力设定；而压力调理单元和丈量单元合为一体，为一单片机系统，其压力调理功用是应用单片机系统，经过数字PID运算，完成压力调理。至于驱动电路及真空调理阀，同类型的两种不同电路结构的压力拄制仪大致相同。

压力控制仪可在手动和自动两种工况下运转。当开关S打到手动位置时，压力控制仪相当于一个手动微调真空阀，中止手动压力调理；当开关S打到自动位置时，压力控制仪构成一个闭环的自动控制系统，可完成压力定值自动调理其调理过程是：首先由给定单元设定希望控制的压力值，根据细致的被控对象的特性，选择好PID调理单元的比例度艿、积分时间Ti、微分时间Td等参数，当真空丈量单元输出一个表征被控真空装置真空室压力上下的电压信号时，压力节单元可将压力设定值与压力丈量值中止比较，并将差值中止运算（例如P、PI、PID）；然后经过驱动电路，驱动真空调理阀，改动进入真空室的气体流量，从而使真空室内的压力维持在给定值上。当然，这是理想的控制状态，理论上，由于压力控制仪的压力调理单元的特性所致，被控压力只能是趋近于给定压力值，并与给定压力值坚持允许的倾向范围内。这个倾向值的大小，即表示压力控制仪压力控制精度的上下。

（2）真空气体流量调理元件

从原理上讲，普通手动真空调理阀，配上恰当的控制电机（如伺服电机、步进电机等）或液压缸，经过调理控制电机或液压缸的控制信号，使控制电机或液压缸动作，从而改动真空阀的流导，于是改动了流过真空阀的气体流量，完成在真空装置中真空室的真空度的自动调理。但是，目茼我国真空仪器厂家消费的真空气体流量调理阀仅有电磁调理式、质量流量计式及压电式三种，而国产压力控制仪多选用压电阀作为真空气体流量调理元件。

压电阀是应用压电效应制成的一种真空气体流量调理阀。压电阀的中心部件是由压电陶瓷制成的具有压电特性的膜片。当在压电陶瓷膜片上施加一控制电压时，它将会产生正比于外加电压值大小的变形。同时，带动密封垫移动。于是压电阀流导产生变化，从而改动气体经过压电阀的流量。当压电陶瓷膜片上未施加控制电压时，由于弹簧的机械力作用在压电陶瓷膜片和密封垫上，使压电阀气路关闭。因而，可以经过改动施加在压电陶瓷膜片上的控制电压的大小，来改动压电阀的流导，从而改动流过压电阀的气体流量。于是，可完成真空装置的真空室中的真空度调理。

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