同轴ECR等离子体源微波头2.45GHz
Plasma Sources 等离子体源系列
法国SAIREM公司是拥有40多年的微波和射频工程经验的高科技公司,可为用户定制电子设计、应用开发、工艺设计和生产标准化的微波、射频、直流发生器、等离子体源等相关产品。
微波技术在等离子体实验室和工业中不断发现新的应用,这是由于微波等离子体的许多优点,例如,超密度等离子体-离子和活性物种,电极更少,在各种压力下的操作。微波辅助等离子体在金刚石沉积、表面活化、**、纳米材料合成、气体净化等方面的应用。
为了满足这些复杂技术所要求的越来越苛刻的要求,我们已经开发出了自己的等离子体源和反应器。
我们可以提供关于选择等离子设备和适合你需要的微波频率的建议,还可根据要求提供特殊配置,并且乐于帮助开发您自己应用的设备。
主要应用领域:
分析
金刚石沉积
表面清洗
蚀刻
防止污染
化学合成
(301)Downstream 等离子体源
这种表面波的等离子体源产生等离子体,在一个标准的WR340波导中(直径20-60毫米)。这种等离子体源可以根据压力、微波功率和等离子气体的性质,使长等离子体的点火和维持。
压力范围:10-2mbar到大气压力
气体类型:Ar,N2,O2,空气,.欣源科技(北京)___同轴ECR等离子体源微波头2.45GHz
,……
**功率:6kW
应用类型:自由基/反应性物种的产生,表面**,PECVD,气体减排,气化,**(UV),纳米粒子合成
(302)Sur-fa-guide 等离子体源
压力范围:mbar到atm
主要用于:气体减排、气化、**、纳米粉合成、表面活化、大气高温化学
(303)AURA W-A-V-E 同轴ECR等离子体源(低压等离子体)
KF/CF法兰,氟橡胶密封圈/无氧铜密封圈,欣源科技(北京)有限公司,.欣源科技(北京)___同轴ECR等离子体源微波头2.45GHz
,欣源科技(北京),搭配固态微波发生器,可组成阵列
(304)HI- W-A-V-E 同轴碰撞型等离子体源(中压等离子体)
KF/CF法兰,氟橡胶密封圈/无氧铜密封圈,.欣源科技(北京)___同轴ECR等离子体源微波头2.45GHz
,搭配固态微波发生器,可组成阵列
(305)S- W-A-V-E等离子体源(Sur-face W-A-V-E plasma source 表面波等离子体源,搭配固态微波发生器),主要特点:
频率2450MHz±50MHz
**微波功率200W
集成到DBD点火系统(Dielectric Barrier Discharge介质阻挡放电点火系统)
压力范围10-2mbar到大气压
Ar和基于Ar基混合物可在1atm下使用
所有气体都可在更低压力下使用
直径6或8毫米的电介质管
Swagelok 6mm气体连接器
主要应用领域:表面活化、元素分析、原子层沉积、气体减排、分子**/物质活化、****、减少**附着、慢性伤口和受感染皮肤的治疗
欣源科技SYNERCE**代理法国SAIREM产品系列,包括:
微波发生器(微波电源)2.45GHz系列、微波发生器(微波电源)915MHz系列、等离子体源(Plasma Sources、微波头)、微波化学系列MW Chemistry、射频发生器(RF发生器、射频电源)、用于等离子体的直流电源DC系列、微波等离子体专用水冷机系列
.欣源科技(北京)___同轴ECR等离子体源微波头2.45GHz |
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