电子级硅片承载器PFA显影花篮本底值低清洗晶圆防污染
PFA花篮
PFA花篮(PFA wafer Cassette) 又名 清洗花蓝 ,特氟龙卡匣 , 特氟龙晶舟盒 ,特氟龙晶圆盒为承载半导体晶圆片/硅片的容器,耐酸耐碱耐腐蚀(强酸、强氟酸、强碱),能做激光雕刻,能够安装RFID。保持载体和物料的跟踪。
主要用于半导体蚀刻部门之酸碱制程中使用、传送晶圆。我司PFA花篮,进入化学酸、碱蚀刻制程中,可搭配PFA把手使用。
二、参数
名称 规格 耐温性 应用
PFA花篮
PP Cassette
2寸 -200~260℃ 酸碱传输制程
4寸
6寸
三、特点
1.耐腐蚀:耐受强酸强碱
2.搭配可活动把手,用于晶圆芯片清洗运输
3.耐高低温:-200~260℃
4.耐绝缘:介电性能与温度、频率无关;
5.防污染:本底值低,金属元素铅铀含量小于0.01ppb;
6.低的溶出和析出,确保晶圆芯片无污染
7.化学性能稳定 |
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圆盘锯注意事项
1.圆锯片安装不正确,锯齿因受力较大而变钝后,锯切时引起木材飞掷伤人。
2.圆锯片有裂缝、凹凸、歪斜等缺陷,锯齿折断使得圆锯片在工作时发生撞击,引起木材飞掷或圆锯本身破裂伤人等危险。
3.安全防护缺陷,如传动皮带防护缺陷、护手安全装置残损、未作保护接零和漏电保护或其装置失效等,引发安全事故。
液压圆盘锯安全要求
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